超純水氮封閥系統應用案例

超純水氮封閥系統應用案例

防止儲罐等容器出現過壓或負壓的方法是在容器頂部設置開口;此種情況下，再向容器內注入產品時，任何的多余空氣或氣體可自由離開容器；相反當產品排出時，空氣可流入容器內。但是進入儲罐內的空氣可能會污染產品，尤其是當儲罐中存儲的是有機溶液與碳氫物時，爆炸性氣體（或空氣）會在產品上方形成；此外，還有可能發生不良氣體與蒸氣的釋放。
     避免以上情況的發生，需要將儲罐密封；然而，儲罐中物料存放在常壓條件下，需要避免在對其灌裝或溫度升高時出現過壓，也需要避免在排放產品時出現真空，因此氣封系統的安裝顯的尤為必要。氮封系統是基于壓力的氣封工藝，可確保儲罐頂部空間處于惰性氣體保護與微正壓控制之下。在電子工業中，集成電路特征尺寸不斷縮小，使得生產過程中超純水的水質要求也愈來愈高。電子工廠潔凈廠房設計中純水供應是重要內容之一，各種電子產品生產工藝對純水水質、水量要求均不相同。IC制造應關注超純水水質電子產品生產中純水系統應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求，結合系統規模、材料及設備供應等情況，通過技術經濟比較來選擇。




序列號	品  名	型 號 及 規 格	基層單位	總量
1	氮封閥	氮封閥ZZYVP-II DN32 PN16 進口壓力 0.3-0.6 MPA, 出口壓力1 KPA 法蘭部無線連接	臺	1
2	泄氮閥	泄氮閥ZXD-16   DN32    PN16 起跳經濟壓力2KPA 卡箍接	臺	1
3	喘氣閥	呼吸閥GFQ DN32 PN16 正壓：3 KPA 負壓：-298PA 卡箍相連	臺	1
4	濾水器	Y型過濾(lv)器GL41H   DN32 PN16 濾網100目     法蘭片連結	臺	1

超純水氮封閥系統應用案例超純水之定義
DI＝Deionized，DI Water＝Deionized Water，為去離子之意，亦即通稱之純水（PUREWATER），近來由于半導體制程對設計規則之需求朝更精密更細小的趨勢發展，因而對純水水質的要求也越趨嚴格，在此嚴格水質要求下所制造出來稱之超純水（Ultra－pure water）。
其狹義之意：為去離子之水，將水中之離子（如Na＋、Ca2＋、Mg2＋、Al3＋、C1－、F－、SO42－、NO3－、etc．）予以去除，降低其離子濃度，提高水之電阻值（Ω·cm）。
其廣義之意：為除(chu)了除(chu)去(qu)水(shui)(shui)中離子(zi)之外(wai)，亦將水(shui)(shui)中之SiO2，顆粒物，細菌，有機(ji)物，微(wei)生物一(yi)并給予有限(xian)度(du)的(de)(de)去(qu)除(chu)，使水(shui)(shui)達到(dao)純凈的(de)(de)程(cheng)度(du)，而用于(yu)電子(zi)工業之上。



超純水氮封閥系統應用案例18MΩ·cm超純水制備工藝
自來水進入原水箱，通過原水泵增壓，經砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過濾器，到達反滲透單元，經兩級反滲透過濾進入EDI單元，達到電阻率15MΩ·cm（25℃）進入純水水箱。純水供水設計為循環方式，經純水供水泵增壓，通過紫外線消毒器、拋光混床TulsimerMB106UP、0.22微米過濾器接入純水供水管，到達使用點。在純水系統的基礎上，后續增加一道混床或EDI裝置，來繼續凈化水質，進一步使水中雜質降低，水質更純。
　　當混床離子交換器在正常運行操作的時候，陰、陽離子交換樹脂和進水中的離子（包括硅離子等）進行置換，置換出來的氫根與氫氧根結合生成脫鹽水。
　　當陽、陰離子(zi)交(jiao)(jiao)換(huan)(huan)樹脂的交(jiao)(jiao)換(huan)(huan)能力耗(hao)盡后，便不能再將離子(zi)從(cong)水(shui)中置換(huan)(huan)出(chu)來(lai)，因而出(chu)水(shui)電阻率便會下(xia)降，這時混床(chuang)樹脂需要(yao)再生。



2．1超純水氮封閥系統應用案例預處理單元
采用石英砂過濾、活性炭過濾、保安過濾作為兩級反滲透的預處理。
2．2反滲透模塊單元
反滲透膜是以壓力差為驅動力的液相膜分離方法，可以看作是滲透的一種反向作用。在壓力推動下，溶液中的水分子透過膜，而其它分子、離子、細菌、病毒等被截留，從而實現脫鹽效果，達到純化目的。
整個反滲透系統由高壓泵、反滲透膜、壓力容器以及相應的儀器、儀表、閥門、機架、管道及管件等組成；此外還有獨立的化學清洗裝置。氮封系統由氮封閥、呼吸閥（含阻火器）、泄氮閥、緊急泄放裝置（泄壓閥、泄壓人孔）組成。
當儲罐進液閥開啟，向罐內添加物料時，液面上升，氣相空間減小，罐內壓力升高，當罐內壓力高于泄氮閥壓力設定值時，泄氮閥打開,向外界釋放氮氣，當罐內壓力下降到泄氮閥壓力設定值時，泄氮閥自動關閉。
當儲罐出液閥開啟輸出物料時，罐內液面下降，氣相部分容積增大，罐內氣相壓力降低，此時氮封閥開啟，向儲罐注入氮氣，當罐內壓力上升至氮封閥壓力設定值時，氮封閥自動關閉。當氮封閥和泄氮閥失靈時，此時呼吸閥替代氮封閥和泄氮閥起保護作用。




緊急泄放裝置是當發生火災時向罐外呼出，避免儲罐因超壓而損壞。ZZYVP型指揮器操作自力式壓力調節閥是由指揮器、調節閥、執行機構和閥后接管四部分組成。（見圖一）


超純水氮封閥系統應用案例工作原理：

媒質以如下圖所示箭頭標志方位步入閥體，節節高升要經過濾緩解氣壓器緩解氣壓后的氣壓被帶來命令員器；另節節高升經由閥芯、閥塊，節流后的氣壓排入閥后，并經由導壓管帶來命令員器來下達平臺。當閥后氣壓大于更改氣壓時，其氣壓的功效在命令員器薄膜和珍珠棉合理表面導致一款轉矩提升命令員器閥芯停用，打斷帶來主閥來下達平臺膜室中的氣壓，使主閥閥芯停用，閥后氣壓伴隨著減少。當閥后氣壓如果低于更改值時，隨著命令員器主壓簧的反的功效力開命令員器閥芯，閥前氣壓又被帶來主閥來下達平臺膜室導致轉矩，使主閥閥芯開，閥后氣壓伴隨著變高。即使回轉式，做到閥后氣壓為更改值。



三、超純水氮封閥系統應用案例主要參數、性能指標與材料


1、主耍參數設置及主耍耐磨性標準見表一                                        表一

公稱通徑DN（mm）	20			25	40			50	80		100	150
閥門法蘭直經（mm）	6	15	20	25	32	40		50	65	80	100	125	150
額定功率用戶比率Kv	0.32	5	8	11	20	30		48	75	120	190	300	480
壓調接區間KPa	0.1～0.5、0.4～5.0、4.0～12.0、
公稱壓強PN（MPa）	1.6
被調導電介質高溫（℃）	-5～+100
手機流量特征	快開
調結gps精度（%）	≤±5
施行醫院有用規模（cm2）	100						200		280			400
信息界面	內螺母M10×1											M16×1.5




2、壓為調節器面積見表二                                                   表二

的壓力設定范圍圖（KPa）	指揮員器膜室更有效面積計算（cm2）	執行力組織機構膜室更好表面積（cm2）	適用氣動閥門通徑（mm）
0.1～0.5	1200	100	20～32
0.4～5.0	600
4.0～12.0	400
0.1～0.5	1200	200	40～50
0.4～5.0	600
4.0～12.0	400
0.1～0.5	1200	400	65～100
0.4～5.0	600
4.0～12.0	400
0.1～0.5	1200	600	125～150
0.4～5.0	600
4.0～12.0	400




3、超純水氮封閥系統應用案例主要零件材料見表三               ;                                    表三

零 件 名 稱	材         料
手動活塞件式制定組織，總指揮器	組成件
閥體，閥蓋	ZG230-450，ZG0Cr18Ni9Ti，ZG0Cr18Ni12Mo2Ti
推桿，閥桿	2Cr13，1Cr18Ni9
閥門法蘭	1Cr18Ni9Ti
閥芯（軟密閉）/活性炭過濾器	聚四氟丁二烯
條紋膜片	丁腈天然橡膠夾怎強滌綸布亞麻纖維
壓縮彈簧	1Cr18Ni9Ti、60Si2Mn

  4、超純水氮封閥系統應用案例外形(xing)尺寸見表四、圖二               ;                     表四   單位：mm



公稱通徑	L	B	H1	H
				A=1200 cm2	A=600 cm2	A=400 cm2
				壓力值控制使用范圍（KPa）
				0.1～0.5	0.4～5.0	0.5～7
20	150	383	53	605	554	554
25	160		58	605	554	554
32	180	512	70	615	564	564
40	200		75	640	589	589
50	230	603	83	655	604	604
65	290	862	93	722	671	671
80	310		100	738	687	687
100	350	1023	110	755	704	704
125	400	1380	125	918	867	867
150	480		143	1.25	974	974

注： 1）規格規定活套蝶閥活套法蘭片部連結手段PN16為凸面，連結寸尺大理石平活套蝶閥活套法蘭片部按GB4216.5-84，鑄鋼活套蝶閥活套法蘭片部按GB9113-2000、JB/T-94，閥體活套蝶閥活套法蘭片部及活套蝶閥活套法蘭片部外圓距也可按用戶數規格規定制造廠，如：ANSI，JIS，DIN等規格規定。    2）移交基于玩家應該設備5、的產品容量見表五                                           表五   公司：Kg

公 稱 通 徑（mm）	20	25	32	40	50	65	80	100	125	150
A=400cm2	18	18	25	27	40	55	80	108	130	150
A=600 cm2	20	20	27	30	45	60	86	115	140	160
A=1200 cm2	22	22	30	34	50	66	92	120	150	170

四、超純水氮封閥系統應用案例安裝、維護與調試



1、怎么安裝（見圖三）（1） 常規檢查整個設備零件加工需不需要缺少或損傷與松脫，對用危害人良好的媒介，務必使用抗壓強度、密封隔絕、泄露與導致精度測試方法。（2） 在裝有前，對熱力熱力管道鋪設實行家電清洗（不許因焊渣等熱力熱力管道鋪設沒用的，磨損閥芯良好的密封性面，造成 單向閥不許一切正常業務），單向閥吃下處要有充足的直管線，并配帶過濾系統器。閥體與熱力熱力管道鋪設的法蘭片接，要還要注意同軸度。（3） 裝基地應考慮到人與裝置的安會，即使是于操作方法，又重要于組裝與維修費。（4） 高壓閥門應正立重直按照在橫向管上，導壓管應該按照在相距閥出來一定六倍于公稱通徑的閥后管上。閥載重量明顯與有震動的的場所，都要撐起架，做到不要橫向按照。（5） 材質出入角度應與閥體上的箭頭符號方向一樣的。因微壓閥是一種精密模具智能儀表，但其中警衛器膜片進行所能承受材質壓差，若伐門反裝或排水管道有反模具沖壓差，則警衛器膜片由受力過高產生膜片燒壞，伐門并不能工做。伐門應在生態攝氏度-25～+55℃活動場所動用。（6） 為使電氣體統卡死或維檢止回閥時，仍能連繼分娩，應設立旁路閥（見圖三）。



1、 超純水氮封閥系統應用案例維護：


（1） 刷洗的閥門：對刷洗一樣 物料，要拿水的除垢就可以。但對刷洗損害建康的物料，一方面要學習其特性，在使用的相關的的刷洗技巧。（2） 止回閥的拆下：將外漏表層銹蝕的的零部件先去銹，但在去銹前，要愛護好高壓閘閥、閥芯、閥桿與推桿等精密五金零部件的工作表層。組裝高壓閘閥時需要選擇上用用具。（3） 閥芯、閥球：二封嚴帶面有較小的銹斑與損耗，要用機械設備制造生產的技術通過清洗，如搞壞嚴峻須得要換好。但不要清洗或調整后的硬封嚴帶面，都須得要通過研磨設備。（4） 閥桿：外觀受損，須要更換新。（5） 縮減拉簧：請諒解裂痕等干擾硬度的障礙，必須要煥新。（6） 易損配件上的：生物填料、封密螺母與O型圈，總是檢修時，完全重換。膜片必要檢修會不有意味著明年可能性會出現波浪紋、衰老與金屬腐蝕等污跡，跟據考驗沒想到，取決會不拆換，但膜片適用期一般的許多2～5年。（7） 的閥門拆卸要需注意對中，螺栓標準要在對角線上教育打緊，旋轉區域要加濕潤油。拆卸后應按好產品生產測試儀大型項目與策略測試，并在此時間，可更準確性地更改生物填料壓緊力與閥芯關畢位子。

2、 超純水氮封閥系統應用案例調試

所必需要壓強值是完成對命令器邊側的可以可以控制螺母的實際操作而實現的懂得修改，瀏覽器打開邊側的防水蓋，用板手的懂得修改可以可以控制螺母。順時鐘方向盤飛速轉動使壓強增加，逆時針飛速轉動則壓強減低。裝配在壓強可以可以控制閥后的壓強表，可讓運作工人借以了解的懂得修改后的壓強給定值。



超純水氮封閥系統應用案例氮封系統壓力設定原則
相比傳統氮封系統裝置，金子產業利用自己的產品（恒壓呼吸閥），將呼吸閥和氣封裝置集成到一起的一體式產品，同時滿足氮封與呼吸的功能，體現出的優勢：
1）由于不需要二次配管及控制配管，配管的空間較寬廣。
2）只要有呼吸閥儲罐上有空即可設置。
3）由于不需要二次配管及控制配管工程，可節省配管成本。
4）在現有的儲罐上設置時，不需要增設二次配管及控制配管的連接口。
5）因使用潔凈管件，結構上很簡單，便于進行拆解、點檢。
      當儲罐出液閥開啟，用戶放料時，液面下降，氣相部分容積增大，罐內氮氣壓力降低，供氮閥開啟，向儲罐注入氮氣，罐內氮氣壓力上升，當罐內壓力上升至供氮閥壓力設定值時，供氮閥自動關閉。當儲罐進液閥開啟，向罐內添加物料時，液面上升，氣相部分容積減小，壓力升高，當高于泄氮閥壓力設定值時，泄氮閥打開，向外界釋放氮氣，罐內氮氣壓力下降，降至泄氮閥壓力設定值時，泄氮閥自動關閉。
      呼吸閥在供氮閥和泄氮閥正常工作時不起作用，當特殊情況下起保護作用；呼吸閥安裝在頂部，具有正向超壓或真空超壓保護功能，使罐內的液體進出沒有受到阻礙，當物料輸入罐內時有大量的氣體往外呼（稱正壓）。如罐內物料往外輸出時罐內必須從外空氣吸進罐內（稱負壓）。如停止工作時呼吸閥自動關閉不會把罐內液氣往外泄漏，使罐內的液體質量得到了有利的保障。